400-677-0098
關鍵詞:碳化硅涂層爐化學氣相沉積爐碳化硅沉積爐CVD/CVI系統
立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)
立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)
產品描述:
立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)可用于材料的表面涂層、基體改性、復合材料制備等
應用范圍:
外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導體坩堝、陶瓷基復合材料等

立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)技術特征

采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍??;

全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

可選配最新設計的防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率極低;

使用工藝氣氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)產品規格

參數\型號VCVD-0305-SICVCVD-0608-SICVCVD-0812-SICVCVD-1120-SICVCVD-1520-SIC
工作區尺寸D×H(mm) 300×500 600×800 800×1200 1100×2000 1500×2000
最高溫度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500
溫度均勻性(℃) ±5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10
極限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-100 1-100
壓升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)配置選擇

結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗材質:石墨/CFC/金屬

熱電偶:K/N/C/S分度號

真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組

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